Ventili in pribor za visoki vakuum

Hochvakuum-Ventile von SMC Naši ventili za visoki vakuum dosegajo dolgo življenjsko dobo in tesnilnost, so izjemno odporni proti koroziji in delujejo na pnevmatski, elektromagnetni ali ročni način. Nudimo modele z velikostjo prirobnic od 16-160, visoko vakuumske ventile za medije primerne za tlake od 10 barov na vhodni strani in 1 × 10-8 mbar na izhodni strani in še veliko več.

XLAQDQHOdlična toplotna prevodnost kotnih ventilov za visoki vakuum serije XL, zagotavljajo enakomerno temperaturo v celotnem ohišju ventila in zmanjšajo kondenzacijo plinov v ventilu na minimum. Ti ventili za visoki vakuum ne vsebujejo težkih kovin, kot so nikelj ali krom in so dobri zaradi nizke prepustnosti plinov.

  • Velikosti prirobnic 16-160
  • Dolga življenjska doba
  • minimalno odplinjevanje
  • visoka odpornost proti koroziji
  • pnevmatske, elektromagnetne in ročne različice

Katalog

Konfiguracija izdelka

Vprašajte SMC

XM_XYHMaterial ohišja serije XM (visoki vakuumski kotni ventil) in XY (visoki vakuumski In-Line ventil) je izdelan iz legiranega jekla. XM in XL imata enake dimenzije in ju je mogoče poljubno zamenjati. Ventili so natančno uliti v enem koraku, kar preprečuje poškodbe, kot so plinski žepi ali porozne lise.

 

XSA-A-P01-5Visoko vakuumski ventil kompatibilen z mediji lahko vzdrži max. delovni tlak 10 barov (IN stran) in min. delovni tlak 10-8 mbar (OUT stran), odvisno od različice izdelka. Je odporen proti koroziji, lahek in visoko energetsko učinkovit.

Uporaba:

  • v plinskih dovodih procesnih komor
  • v proizvodnji živil
  • v polprevodniški industriji
  • in še marsikje

Katalog

Konfiguracija izdelka

Vprašajte SMC

xvd2
Če se komora z visokim vakuumom prezračuje prehitro (čisti zrak / N2), pride do turbulenc in na takšen način v komoro z visokim vakuumom vstopajo neželeni delci. Nastavljiv visoko vakuumski ventil XVD2 omogoča počasno, nadzorovano prezračevanje prostorov z visokim vakuumom brez turbulenc. To povzroča, da se v komori nahaja kolikor je možno majhno število delcev.
  • Visoko vakuumski ventil, nastavljiva dvostopenjska ventilacija
  • Obratovalni tlak: 2 bar-10-8 mbar
  • Delovni medij: dušik, zrak
  • Tip ventila: breztlačno zaprt (normalno zaprt)
Katalog Konfiguracija izdelka Vprašajte SMC

XGTHPravokotni drsni ventil serije XGT nudi visoko kakovost izoliranja komor za nalaganje, prenos in obdelavo.

Nadaljnje prednosti:

  • nizka tvorba delcev
  • opcijsko z zaklepom končnega položaja
  • dolga življenjska doba
  • za wafer 200 mm in 300 mm

Uporaba: za proizvodnjo polprevodnikov in sončnih celic

Katalog

Konfiguracija izdelka

Vprašajte SMC

Cilinder brez batnice za visoko vakuumske komore je bil posebej razvit za minimalno tvorbo delcev, minimalno puščanje in odplinjevanje.

  • Premer bata 15 mm in 32 mm
  • Cilindri za prenosne sisteme v vaši komori z visokim vakuumom
  • najboljša kakovost in varnost vašega procesa
  • Optimizirani cilindri za transport waferjev in drugih materialov v vakuumskih komorah

Katalog

Konfiguracija izdelka

Vprašajte SMC

ZSE80-A-P01-1

ZSE80 je na voljo s PNP ali NPN izhodi in po izbiri tudi z analogno napetostjo ali izhodnim tokom kot senzorjem. Dvobarvni zaslon omogoča hitro prepoznavanje odstopajočih vrednosti. Ta izdelek je možno priključiti v dveh smereh (zadnja ali spodnja stran) in z različnimi navoji (R, NPT, Rc, G, URJ (kompatibilen z VCR®), TSJ (združljiv s Swagelok®). S PNP ali NPN vhodi/izhodi in številnimi možnostmi vgradnje. Zaščitni razred: IP65

Katalog

Konfiguracija izdelka

Vprašajte SMC

SMC Fluidcontrol Ansteuerung, ZubehörŽelite vaš proces s pnevmatsko regulacijo, ki je takoj pripravljena za vgradnjo, narediti varnejšo in učinkovitejšo?

Pišite nam!

Tukaj lahko najdete več informacij o naših

Celovite rešitve

Zahvaljujoč našim dolgoletnim izkušnjam imamo celovito rešitev krmiljenja (med drugim tudi pnevmatsko) preko ventilov do tlačnega stikala. Pri nas dobite vse na enem mestu za vse vaše zahteve - ne glede na to, kako posebne so vaše želje.
Zahtevajte več informacij

Storitev

Storitev je za nas pomembna! Imamo celovite rešitve in modele, ki so natančno prilagojeni vašim željam in potrebam. Vstopite in uživajte tudi vi v zaupanju, kot naše dolgoletne stranke.
Kako do nas

Številne sodobne proizvodne metode naših kupcev zahtevajo posebne komponente v visokem vakuumu. Na primer

  • pri proizvodnji mikročipov,
  • pri proizvodnji sončnih celic
  • pri barvanju kovin za orodja
  • za analitsko opremo, kot so masni spektroskopi in elektronski mikroskopi ali
  • pri iskanju mest puščanja in še več

Visoke vakuumske aplikacije postavljajo zelo visoke zahteve za material in konstrukcijo. Zato si naši inženirji po vsem svetu prizadevajo najti najboljše rešitve za vaše potrebe.

Vaše prednosti

Vsak visoki vakuumski sistem potrebuje ventile za visoki vakuum visoke kakovosti. Zahvaljujoč odlični toplotni prevodnosti, temperatura celotnega telesa ventila ostaja konstantna, kondenziranje procesnih plinov znotraj ventilov je bistveno zmanjšano.

Poleg tega nudimo serijo ventilov z dodatnim grelnim elementom, ki dosežejo minimalno odplinjevanje,
uporablja se črpalka manjše moči in skrajša se čas evakuacije (= čas za dosego želenega vakuuma). Nudimo visoko vakuumske ventile iz aluminija, ki ne vsebujejo težkih kovin, kot npr. nikelj in krom. Težke kovine lahko povzročijo kontaminacijo in s tem je ekonomičnost postopka pri proizvodnji npr. mikročipov (waferjev) bistveno nižja.

Naši ventili so izdelani iz posebne aluminijeve zlitine in legiranega jekla v različnih izvedbah – od klasičnega kotnega ventila preko In-line ventilov, pravokotnih drsnih ventilov, magnetnih ventilov do inovativnega ventila z avtomatskim enakomernim prezračevanjem. Naši ventili so na voljo v različnih dimenzijah prirobnic in izvedbah.

Inovativne ideje za vaše sisteme

Kar ponuja običajni trg, pogosto ni dovolj. Zato naši inženirji z užitkom razvijajo nove in inovativne izdelke.

Na primer, razvili so XL * Q serijo hitro menjalnih visoko vakuumskih kotnih ventilov. Kaj je pri tem posebno? Vakuumskega ventila ni treba odstraniti za servisiranje in vzdrževanje, kar omogoča hitro in ekonomično čiščenje. Druga iznajdba podjetja SMC je kompaktni dvostopenjski odzračevalni ventil XVD2, ki v bistvu omogoča prezračevanje brez turbulence.

Ali imate višje cilje, ki presegajo običajne standarde? Potem pridite v SMC – naši strokovnjaki za avtomatizacijo imajo vedno pravo rešitev za vas. Izkoristite naše kakovostne in inovativne izdelke za učinkovito proizvodnjo v vašem podjetju.